| 幅測定 | 最小測定単位 | 0.001μm |
| 測定再現性 | 3σ<10nm | |
| 高さ測定 | スケール分解能 | 0.4nm |
| 測定再現性 | σ<10nm | |
| 測定範囲 | 7mm |
50倍レンズ:1画素サイズ300×300μm
100倍レンズ:1画素サイズ150×150μm
対物レンズ:50倍
分解能:0.02μm
測定エリア:0.3mm
Ra:0.020µm Rz:0.140µm
Ra:0.021µm Rz:0.147µm
非破壊・非接触の3次元形状測定が可能。可視化できます。
