共焦点（コンフォーカル）顕微鏡

レーザーテック製

レーザーマイクロスコープOPTELICS® HYBRID​

  • コンフォーカル（共焦点）顕微鏡は、高い解像力をもつ測定用の顕微鏡です。凹凸のある試料面に対して、視野内全面にピントの合った高解像画像を得ることができます。
  • 非破壊、非接触の3次元形状計測が可能。
  • 高分解能：405nmレーザー光線による高倍率・高分解能観察で超微細構造も鮮明に可視化
  • 測定機能3D表示、高さ測定、表面粗さ、形状特徴（面積・体積・表面積など）

幅測定 最小測定単位 0.001μm
測定再現性 ３σ＜10nm
高さ測定 スケール分解能 0.4nm
測定再現性 σ＜10nm
測定範囲 7mm

50倍レンズ：1画素サイズ300×300μm
100倍レンズ：1画素サイズ150×150μm

共焦点マイクロスコープ測定：事例−1

表面粗さ測定　透明材試料（鏡面）​

対物レンズ：５０倍 　

分解能：0.02μm 　

測定エリア　□0.3ｍｍ 


共焦点マイクロスコープ測定：事例−2

形状測定/比較　​ラバーの形状測定/比較


共焦点マイクロスコープ測定：事例−3

形状測定/比較　銅線表面形状​


分析委託業務の流れ

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