共焦点(コンフォーカル)顕微鏡

レーザーテック製

レーザーマイクロスコープOPTELICS® HYBRID​

  • コンフォーカル(共焦点)顕微鏡は、高い解像力をもつ測定用の顕微鏡です。凹凸のある試料面に対して、視野内全面にピントの合った高解像画像を得ることができます。
  • 非破壊、非接触の3次元形状計測が可能。
  • 高分解能:405nmレーザー光線による高倍率・高分解能観察で超微細構造も鮮明に可視化
  • 測定機能3D表示、高さ測定、表面粗さ、形状特徴(面積・体積・表面積など)

幅測定 最小測定単位 0.001μm
測定再現性 3σ<10nm
高さ測定 スケール分解能 0.4nm
測定再現性 σ<10nm
測定範囲 7mm

50倍レンズ:1画素サイズ300×300μm
100倍レンズ:1画素サイズ150×150μm

共焦点マイクロスコープ測定:事例−1

表面粗さ測定 透明材試料(鏡面)​

対物レンズ:50倍  

分解能:0.02μm  

測定エリア □0.3mm 


共焦点マイクロスコープ測定:事例−2

形状測定/比較 ​ラバーの形状測定/比較


共焦点マイクロスコープ測定:事例−3

形状測定/比較 銅線表面形状​


分析委託業務の流れ

分析委託業務の流れ